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通過(guò)使用4臺(tái)GT210D電子壓力控制器(EPC)控制VOC監(jiān)測(cè)設(shè)備中的氣路。其中2臺(tái)EPC用于FID檢測(cè)器氫氣和空氣流量控制,另外2臺(tái)EPC用于填充柱載氣流量控制。
應(yīng)用方案(以下為建議應(yīng)用,用戶可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)整):
空氣選用EPC型號(hào)為GT210D-20-XX,搭配使用0050R氣阻,將EPC設(shè)定在20-30psi時(shí),輸出流量約300sccm,以滿足FID檢測(cè)器使用。
氫氣選用EPC型號(hào)為GT210D-10-XX,搭配使用0010R氣阻,將EPC設(shè)定在20-30psi時(shí),輸出流量約30sccm,以滿足FID檢測(cè)器使用。
氮?dú)?選用EPC型號(hào)為GT210D-20-XX,搭配PQ柱使用,將EPC設(shè)定在20-30psi時(shí),輸出流量約30sccm。
氮?dú)?選用EPC型號(hào)為GT210D-20-XX,搭配0016R氣阻和玻璃微珠柱使用。0016R氣阻與玻璃微珠填充柱串聯(lián)使用,可使總氣阻約等于PQ柱氣阻,防止切換多通閥時(shí)流量突變導(dǎo)致FID熄火。將EPC設(shè)定在20-30psi時(shí),輸出流量約30sccm。